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○データ処理PC
Windows7
○能力
測定範囲 XYZ: 650×550×200mm
最少表示単位 0.1μm
被検物最大質量 50�圈弊催拱歉據�30�圈�
○測定精度（※Lは測定長さmm）
Eux、 MPE Euy、MPE 2+6L/1000μｍ
Euxy、MPE 3+6L/1000μｍ
Eux、 MPE 3+L/100μｍ
○カメラユニット
カラー1/3型CCD（プログレッシブスキャン）
作動距離 レンズから焦点面 73.5mm
倍率/視野 0.35〜3.5×/13.3×10〜1.33×1mm
オートフォーカス イメージAF
〇照明装置
垂直落射、透過、8分割リング照明（※全系統白色LED光源/1角度）
○電源
供給電源：AC100V-240V 50/60Hz 消費電流：5A-2.5A
○寸法・質量
（本体＋測定台 ） 幅1200×奥行1640×高さ1820mm 質量665��
（コントローラー） 幅 145×奥行 400×高さ 390mm 質量14��
（設置所要床面 ） 幅2400×奥行2000mm
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