〇主な仕様
カメラによる非接触画像測定と
ATCを有したスタイラスによる接触測定が可能です。
2007年データ処理ソフトおよびPCを更新。
〇ソフトとPC
ソフト:ミツトヨ QVPAK
PC:OS Windows XP
〇測定範囲
(X×Y×Z):350mm×350mm×150mm
最小表示量/測長ユニット:0.02μm
XY軸測定精度:(U1)U1XY=(0.8+2L/1000)μm
XY軸測定精度:(U2)U2XY=(1.4+3L/1000)μm
Z軸測定精度:(U1)U1Z=(3+2L/1000)μm
〇駆動速度
X・Y軸:最大100mm/s Z軸:最大100mm/s
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